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101 _aeng
102 _aPT
200 _aCharacterization of MEMS coriolis vibratory gyroscopes
_fBernardo Pereira Madeira
210 _aMonte de Caparica
_cB. P. M.
_d2021
215 _aXXIV, 62 p.
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328 _aDissertação apresentada na Faculdade de Ciências e Tecnologia da Universidade Nova de Lisboa, para a obtenção do grau de Mestre em Engenharia Mico Nanotecnologias
606 _aMicroelectrónica
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_xTeses
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_bBernardo Pereira
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