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101 _aeng
102 _aPT
200 _aOptimization of self-assembled particle deposition for colloidal lithography nano/micro-patterning
_fRui Daniel de Oliveira
210 _aMonte de Caparica
_cR. D. O.
_d2021
215 _aXXIV, 37 p.
_cil.
328 _aDissertação apresentada na Faculdade de Ciências e Tecnologia da Universidade Nova de Lisboa, para a obtenção do grau de Mestre em Engenharia Micro Nanotecnologias
606 _aMicroeletrónica
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_xTeses
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