| 000 | 00886nam 22002533 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 87913 | ||
| 010 | _dOferta | ||
| 090 | _a87913 | ||
| 100 | _a20210709d2021 k||y0pory50 ba | ||
| 101 | _aeng | ||
| 102 | _aPT | ||
| 200 |
_aEffect of eco-friendly solvents in solution-based AlOx dielectrics at low temperature _fJoão Miguel Rolo Silva |
||
| 210 |
_aMonte de Caparica _cJ. M. R. S. _d2021 |
||
| 215 | _aXXII, 43 p. | ||
| 328 | _aDissertação apresentada na Faculdade de Ciências e Tecnologia da Universidade Nova de Lisboa, para a obtenção do grau de Mestre em Engenharia de Micro e Nanotecnologias | ||
| 606 |
_aMicroelectrónica _xTeses |
||
| 606 |
_aNanotecnologia _xTeses |
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| 680 | _aTK7874 | ||
| 700 |
_aSilva _bJoão Miguel Rolo |
||
| 801 |
_aPT _gRPC |
||
| 856 | _uhttps://run.unl.pt/handle/10362/117488 | ||
| 942 |
_2lcc _cT _n0 |
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