| 000 | 00920nam a2200301 4500 | ||
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| 001 | 41908 | ||
| 010 |
_a0-9616721-6-1 _bencadernado _d€ 195.56 |
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| 090 | _a41908 | ||
| 100 | _a20050517d2000 k||y0pory50 ba | ||
| 101 | 0 | _aeng | |
| 102 | _aUS | ||
| 200 | 1 |
_aSilicon processing for the VLSI era _evol. 1 _eprocess technology _fStanley Wolf, Richard N. Tauber |
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| 205 | _a2nd ed | ||
| 210 |
_aSunset Beach, California _cLattice Press _dcop. 2000 |
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| 215 |
_aXXXVI, 890 p. _cil. _d24 cm |
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| 310 | _aAdquirido DCM | ||
| 310 | _aProjecto Plurianual, CENIMAT | ||
| 606 |
_aSemicondutores _xAtaque químico |
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| 606 |
_aCircuitos integrados _xVLSI (Very Large Scale Integration) |
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| 606 | _aSilício | ||
| 680 | _aTK7874 | ||
| 700 | 1 |
_aWolf _bStanley _ce outro |
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| 701 | 1 |
_aTauber _bRichard N., co-aut. |
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| 801 | 0 |
_gRPC _aPT |
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| 942 |
_2lcc _cA _n0 |
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