| 000 | 00800nam a2200277 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 38539 | ||
| 010 |
_a0-8493-0826-7 _bencadernado _d€ 134,18 |
||
| 090 | _a38539 | ||
| 100 | _a20031119d2002 k||y0pory50 ba | ||
| 101 | 0 | _aeng | |
| 102 | _aUS | ||
| 200 | 1 |
_aFundamentals of microfabrication _ethe science of miniaturization _fMarc J. Madou |
|
| 205 | _a2nd ed | ||
| 210 |
_aBoca Raton, FL [etc.] _cCRC Press _dcop. 2002 |
||
| 215 |
_a723 p. _cil. _d29 cm |
||
| 310 | _aAdquirido SID-BG | ||
| 606 | _aMicroeletrónica | ||
| 606 |
_aCircuitos integrados _xConstrução |
||
| 606 |
_aSistemas microeletromecânicos _xDesenho e construção |
||
| 680 | _aTK7836 | ||
| 700 | 1 |
_aMadou _bMarc J. |
|
| 801 | 0 |
_gRPC _aPT |
|
| 942 |
_2lcc _cA _n0 |
||