May, Gary S.
Fundamentals of semiconductor fabrication / Gary S. May, Simon M. Sze. - Danvers, MA, US : John Wiley and Sons , cop. 2004 . - XIII, 305 p. : il. ; 26 cm.
ISBN 0-471-23279-3
Semicondutores
Circuitos integrados
LCC TK7871.85
Fundamentals of semiconductor fabrication / Gary S. May, Simon M. Sze. - Danvers, MA, US : John Wiley and Sons , cop. 2004 . - XIII, 305 p. : il. ; 26 cm.
ISBN 0-471-23279-3
Semicondutores
Circuitos integrados
LCC TK7871.85