Madou, Marc J.
Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization / Marc J. Madou. - 2nd ed. - Boca Raton, FL [etc.] : CRC Press , cop. 2002 . - 723 p. : il. ; 29 cm.
ISBN 0-8493-0826-7
Microeletrónica
Circuitos integrados
Sistemas microeletromecânicos
LCC TK7836
Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization / Marc J. Madou. - 2nd ed. - Boca Raton, FL [etc.] : CRC Press , cop. 2002 . - 723 p. : il. ; 29 cm.
ISBN 0-8493-0826-7
Microeletrónica
Circuitos integrados
Sistemas microeletromecânicos
LCC TK7836
